„CryoPump“ sistemos valdymo blokas yra visos kriopumpo sistemos „smegenys“, atsakingas už tikslų kriopumpo veikimo reguliavimą ir išsamų stebėjimą, kad būtų užtikrintas stabilus ir efektyvus kriopumpo veikimas.
Pagrindinės savybės:
- Operacijos kontrolė: ji atlieka pagrindinę užduotį pradėti ir sustabdyti kriogeninį siurblį ir gali tiksliai sureguliuoti siurblio greitį pagal tikrąją paklausą. Koreguojant greitį, kriopumpo siurbimo greitis gali būti lanksčiai kontroliuojamas, kad būtų galima prisitaikyti prie skirtingų vakuuminių aplinkų ir proceso reikalavimų. Pavyzdžiui, skirtinguose puslaidininkių gamybos etapuose dinamiškai keičiasi vakuuminio lygio poreikis, o valdymo blokas gali atitinkamai pakoreguoti krioPump greitį, kad išlaikytų tinkamą vakuumo būseną.
- Parametrų stebėjimas: „CryoPump“ sistemos pagrindinių parametrų stebėjimas realiuoju laiku, įskaitant, bet neapsiribojant, temperatūra, slėgis, skysčio lygis ir kt. Temperatūros stebėjimo atveju, pavyzdžiui, A šaldymo sistemos temperatūra a „CryoPump“ tiesiogiai veikia jo našumą, o valdymo blokas nuolat seka šiuos temperatūros duomenis, kad užtikrintų, jog įranga veiktų tinkamame temperatūros diapazone. Kai parametras svyruoja neįprastai, atitinkamas apsaugos mechanizmas iškart suaktyvinamas.
- Saugumo apsauga: įmontuotas apsaugos apsaugos mechanizmas, užtikrinantis įrangos ir personalo saugumą visapusiškai. Kai nustatomas per didelis sistemos slėgis, spaudimo mažinimo įtaisas greitai pradedamas užkirsti kelią rimtoms avarijoms, tokioms kaip įrangos pažeidimas ar net sprogimas, kurį sukelia per didelis slėgis; Jei nustatyta, kad variklio srovė yra perkrauta, laiku nukirpkite maitinimo šaltinį, kad variklis išvengtų deginimo. Tuo pačiu metu jis taip pat turi apsaugos nuotėkį ir per didelę temperatūrą funkcijas, kad būtų sukurta tvirta saugos linija stabiliam sistemos veikimui.
- Gedimų diagnozė ir aliarmas: intelektuali kriopumpo veikimo būklės analizė visada, kai užfiksuojama nenormali situacija, gedimo tipas ir vieta gali būti greitai ir tiksliai diagnozuoti. Pavyzdžiui, kai siurblio siurblio efektyvumas staiga sumažėja, valdymo blokas analizuoja atitinkamus parametrus, kad nustatytų, ar adsorbentas siurblio viduje sugedo, ar vamzdynas nutekėjo. Patvirtinus gedimą, girdimas ir vaizdinis aliarmo signalas bus nedelsiant išsiųstas, o ekrano ekrane bus aiškiai rodoma gedimų informacija, kad operatoriui būtų priminta laiku.